儀器包括高精度光柵裝置、密珠導(dǎo)軌的測量桿裝置、高性能的高速采樣等。

高度計采用高精度光柵作為測量基準(zhǔn)，選用玻璃基體的增量式光柵尺，所以測量支持大測量范圍，對震動和沖擊不敏感，并具有確定的溫度特性。

增量光柵尺的掃描方法為光電掃描，因此無機械接觸也無磨損。電子設(shè)備對輸出信號進行細分至納米級的極小測量步距，從而確保一個信號周期內(nèi)微小位置誤差。

索尼高度計是放置于平臺上進行單軸測量的儀器，理想的情況是花崗石平臺。三豐測高儀是一種平臺與測高儀結(jié)合在一起的全功能測量系統(tǒng)，功能全面的測高儀主要用于在線或批量檢測，一臺或一群機床上直接進行測量，特別是對于一些尺寸要求嚴格的工件在生產(chǎn)過程中的調(diào)試和抽樣檢測非常有用。